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單晶爐

文章出處：英智科技 人氣：發表時間：2017-10-27 15:42
單晶爐是一種在惰性氣體（氮氣、氦氣為主）環境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生長無錯位單晶的設備。

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